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詳細介紹
便攜式膜厚儀主要由以下系統組成： Α白熾-LED混合集成式光源系統，通過內嵌式微處理器控制，使用壽命超過20000小時。 小型光譜儀，光譜范圍370nm –1050nm,分辨精度可達3648像素， 16位級 A/D 分辨精度；配有USB通訊接口； Β) FR-Monitor膜厚測試軟件系統， 可精確計算如下參數： 1）單一或堆積膜層的厚度； 2）靜態或動態模式下，單一膜層的折射率；本軟件包含了類型豐富的材料折射率數據庫，可以有效地協助用戶進行線下或者在線測試分析。本系統可支持吸收率，透射率和反射率的測量，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜，一次使用授權，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結果分析使用。 C) 參考樣片： a) 經校準過的反射標準硅片； b) 經校準過的帶有SiO2/Si 特征區域的樣片； c) 經校準過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區域的樣片； D) 反射探針臺和樣片夾具 可處理大的樣品尺寸達200mm, 包含不規則的尺寸等； 手動調節可測量高度可達50mm； 可針對更大尺寸訂制樣片夾具； Ε) 反射率測量的光學探針 內嵌系統6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm； F) 附件 FR-portable透射率測量套件；
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