AS真空快速退火爐

AS-One真空快速退火爐，性能ZYUE，可搭配分子泵實(shí)現(xiàn)高真空下熱處理工藝。Z高溫度1500 ℃，Z快升溫速率200℃/Second。全程PC軟件控制升溫程序，保證溫度不過沖，控溫精度準(zhǔn)確。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、 紅外鹵素?zé)艄芗訜幔鋮s采用風(fēng)冷（低噪音水平，無(wú)需壓縮空氣）；

2、加熱由功率控制而非電壓控制，避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問題，保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性，即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達(dá)到初的熱處理效果；

3、石英腔體，腔體冷卻采用水冷，冷壁設(shè)計(jì)，雙層不銹鋼；

冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點(diǎn)在于：1、無(wú)記憶，2、工藝重復(fù)性高，3、冷卻速度快；

4、反應(yīng)腔室的設(shè)計(jì)，氣體的進(jìn)入口設(shè)計(jì)在wafer的表面，避免在退火過程中冷點(diǎn)的產(chǎn)生。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性；

5、快速數(shù)字PID控溫；

6、熱電偶配合高溫計(jì)控溫，測(cè)試樣品的溫度，控溫JIN準(zhǔn)；

7、大氣和真空工藝均適合，凈化氣體配針閥；

8、多5路工藝氣體，配數(shù)字質(zhì)量流量控制器；

9、電腦通過以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度；

10、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設(shè)計(jì)，用于小樣品測(cè)試；

11、可選配分子泵，用于高真空測(cè)試；

產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)配置及規(guī)格參數(shù)：

1、樣品Z大尺寸：AS-One100：4-inch；AS-One150 ：6-inch；

2、紅外鹵素?zé)簦?/span>AS-One100 12支； Z大功率：30KW；

                          AS-One150 18支； Z大功率：34KW；

3、紅外鹵素?zé)衾鋮s方式：風(fēng)冷；

4、溫度范圍：AS-One100室溫~1250 ℃；（室溫~1500 ℃可選）

                       AS-One150室溫~1200 ℃；（室溫~1300 ℃可選）

5、升溫速率：AS-One100 ：0.1 ℃~250 ℃/s ；

                       AS-One150 ：0.1 ℃~200 ℃/s ；

6、溫度控制：快速數(shù)字PID控制；

7、熱電偶：2個(gè)K型熱電偶；（安裝中心和邊緣）

8、進(jìn)氣口：位于石英窗下；

9、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計(jì)：壓力：2bars，多可配置5路； 

10、配置真空泵及真空規(guī)：真空度：10e-3 Torr；（分子泵選配10e-6 Torr）

11、尺寸：AS-One100：510*800*1425mm (W*D*H)；

                  AS-One150：510*800*1425mm (W*D*H)；

       重量：AS-One100：194Kg；

                 AS-One150：凈重240Kg；