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    • UV-KUB 3UV-LED 的緊湊型掩膜對準系統
      

      


      UV-KUB 3 是一種基于掩膜對準系統的 UV-LED，具有 365nm 的可用光源。 這是一個非常緊湊的桌面系統，兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光學裝置可提供最大發散角小于 2° 的準直光束，因此可實現的最小特征尺寸為 2 µm。
      

      

      

      訪問次數：1802
      

      產品價格：面議
      

      廠商性質：代理商
      

      更新日期：2025-07-02
      

      

      

      


      

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