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    • Table Top 3Plasmionique支持 CVD / ALD / PECVD / RIE

      Plasmionique支持 CVD / ALD / PECVD / RIE ,加拿大進口桌面式設備,模塊化設計,可支持ALD原子層沉積,CVD化學氣相沉積,PECVD??等離子體增強化學氣相沉積和RIE??反應離子刻蝕。

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      更新日期:2025-06-06
    • AT-200MAnric原子層沉積系統

      占地面積小的桌面系統( 0.15 立方米 | 2.5 平方英尺) 具有超快 MFC 的高溫兼容快速脈沖 ALD 閥,用于集成惰性氣體吹掃。 4 英寸圓形卡盤可定制,適用于較小尺寸或其他形狀(11 毫米高)。 3 種有機金屬前體和 2 種(最多 3 種)反反應物。 整個加熱管線(從前體到腔室)。 高曝光(用于溝槽和多孔基板)和靜態處理模式 全鋁(半導體級)腔室 ? 范圍高達 310°C

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      更新日期:2025-06-06
    • GEMStar XT臺式原子層沉積系統

      產品特點 美國ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列臺式 ALD系統,在小巧的機身(78 x56 x28 cm)中集成了原子層沉積所需的所有功能,可zui 多容納9片8英寸基片同時沉積。GEMStar XT全系配備熱壁,結合前驅體瓶加熱,管路加熱,橫向噴頭等設計,使溫度均勻性高達99.9%,氣流對溫度影響減少到0.03% 以下。高溫度穩定度的設計不僅實現在8英寸基體上實現膜厚的不均勻性

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      更新日期:2025-06-05
    • AT-610原子層沉積系統

      原子層沉積(Atomic layer deposition)是一種可以將物質以單原子膜形式一層一層的鍍在基底表面的方法。原子層沉積與普通的化學沉積有相似之處。但在原子層沉積過程中,新一層原子膜的化學反應是直接與之前一層相關聯的,這種方式使每次反應只沉積一層原子。

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      更新日期:2025-06-05
    • AT-410原子層沉積系統

      原子層沉積系統(ALD)是一種基于自限制表面化學反應的優良薄膜沉積技術。通過交替通入不同前驅體氣體,在基底表面逐層形成單原子層厚度的薄膜,具有原子級精度控制和三維共形性覆蓋的特點,尤其適用于復雜結構和高深寬比器件的均勻鍍膜。

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      更新日期:2025-06-05
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