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    • SE200BM,SE300BM和SE500BM光譜橢偏儀帶自動監測

      橢圓偏振光譜(SE)是一種成熟的光學技術,用于以非破壞性和非接觸方式表征塊狀材料,薄膜,涂層,表面層和嵌入層。對于常規和晶圓廠加工質量控制,必須有一個自動盒式裝卸機。為此,我們開發了一種低成本解決方案,可將晶圓尺寸從2“擴展到8”(臺式),將塔式尺寸擴展到12“。用戶甚至可以為每個插槽定義配方,從而為整個盒式磁帶測量定義配方。

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      更新日期:2025-07-01
    • SE-SOLAR光伏光譜橢偏儀

      橢圓偏振光譜儀SE-Solar專為光伏(PV)應用而設計。它可以配置為覆蓋DUV到NIR范圍,可以使用手動測角儀以5度間隔改變入射角,也可以配置為自動測角儀,分辨率為0.001度。基于陣列的檢測設置可為用戶提供快速測量,每個數據只需幾秒鐘。當需要映射或實時原位測量時,這是所有SE模型中的*選擇。

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    • SE-MSP光譜橢偏儀顯微分光光度計

      對于某些應用(例如MEMS或半導體產品晶圓上的功能),希望有一個小的探測點。將顯微分光光度計與橢圓偏振光度計集成在一起后,工具的功能將大大擴展。可通過橢圓偏振光度法在超薄膜上工作,并且還具有通過微反射法與橢圓度計和微分光光度計相結合的*配置的小面積微反射法。

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    • TFProbe IRSE紅外光譜橢偏儀IRSE

      紅外光譜橢圓儀(IRSE)可以表征材料的結構(厚度,界面,表面粗糙度,污染),光學(光學常數),電(導電性)以及化學信息。

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    • SE200/SE300/SE350/SE500光譜橢偏儀 DUV-VIS-NIR

      光譜橢偏儀可配置從DUV到NIR的波長范圍。DUV范圍可用于測量超薄膜,如納米厚度范圍。比如硅晶片上的原生氧化物,其通常僅為約1至2nm厚。當用戶需要測量許多材料的帶隙時,深紫外光譜橢偏儀也是*的。可見或近紅外范圍用于測量相對厚或非常厚的涂層。

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      更新日期:2025-07-01
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