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7-17
旋涂?jī)x的關(guān)鍵特性旋涂?jī)x的轉(zhuǎn)速特性至關(guān)重要,它能表征并改變您制備的薄膜性能。轉(zhuǎn)速范圍轉(zhuǎn)速范圍指旋涂?jī)x可實(shí)現(xiàn)的旋轉(zhuǎn)速度區(qū)間,通常以每分鐘轉(zhuǎn)數(shù)(RPM)表示。RPM設(shè)定決定了基片在旋涂過程中的旋轉(zhuǎn)速度:更高RPM值通常產(chǎn)生更薄涂層更低RPM值則形成更厚涂層通過調(diào)節(jié)RPM,可精確控制涂層厚度。轉(zhuǎn)速還會(huì)影響溶劑蒸發(fā)速度——較高RPM能加速旋涂過程中的溶劑揮發(fā)。RPM對(duì)涂層均勻性同樣關(guān)鍵。離心力能使材料均勻鋪展在基片上,減少厚度不均現(xiàn)象。針對(duì)特定涂布溶液和基片尺寸優(yōu)化RPM,可提升涂層均...
7-15
WS1000濕法刻蝕機(jī)是一種常見的半導(dǎo)體制造設(shè)備,廣泛應(yīng)用于集成電路(IC)的制造過程中,尤其是在微電子領(lǐng)域中用于芯片的生產(chǎn)與加工。濕法刻蝕技術(shù)利用化學(xué)反應(yīng)來去除材料表面不需要的部分,起到精細(xì)加工和圖形轉(zhuǎn)移的作用,確保芯片表面結(jié)構(gòu)的精確度和功能的正常實(shí)現(xiàn)。屬于濕法刻蝕設(shè)備的典型代表。它的工作原理主要是通過化學(xué)溶液和氣體的組合,將硅片(或其他半導(dǎo)體材料)上的圖案刻蝕下來,去除多余的材料,形成微小的圖形結(jié)構(gòu)。這一過程在半導(dǎo)體制造中非常重要,因?yàn)樗鼛椭纬刹煌慕饘賹雍徒^緣層,使得...
7-10
薄膜沉積|涂層方法比較薄膜可以通過多種涂層方法制備,包括蒸發(fā)技術(shù)和溶液處理法。溶液處理技術(shù)將溶液均勻涂覆在基底上,干燥后形成薄膜。均勻可靠的薄膜沉積對(duì)于太陽能電池、有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)和其他半導(dǎo)體器件的開發(fā)與制造至關(guān)重要。由于可用的薄膜沉積方法多種多樣,某些工藝更適合特定應(yīng)用。溶液處理法因其可擴(kuò)展性潛力而特別具有吸引力。選擇適合的涂層方法從小規(guī)模研究到大規(guī)模商業(yè)化生產(chǎn),您需要綜合考慮小規(guī)模和大規(guī)模應(yīng)用來比較每種薄膜涂層方法。這有助于您為當(dāng)前需求做出正確選擇,同時(shí)了解未來...
7-10
狹縫涂布故障排除狹縫缺陷(SlotDieDefects)狹縫涂布是一個(gè)復(fù)雜的過程,獲得穩(wěn)定的薄膜涂層需要深入了解沉積技術(shù)背后的物理原理。可能發(fā)生兩種類型的缺陷:由于涂層珠彎月面的不穩(wěn)定性而導(dǎo)致的缺陷,此時(shí)涂布過程離開了穩(wěn)定涂布窗口。改變涂布參數(shù)將導(dǎo)致返回穩(wěn)定涂布區(qū)域。或者可以說是外部因素導(dǎo)致的缺陷,這些因素與流體的輸送、基材的移動(dòng)或溶液的粘彈性性質(zhì)有關(guān)。這些缺陷通常需要更改涂布系統(tǒng)或流體才能克服。以下部分將介紹這兩類缺陷,并展示常見問題、這些缺陷的特征、它們產(chǎn)生的原因以及可用...
7-4
狹縫涂布流動(dòng)分析了解狹縫涂布背后的基礎(chǔ)理論對(duì)于理解操作參數(shù)和狹縫幾何形狀如何相互作用以形成穩(wěn)定涂層至關(guān)重要。高質(zhì)量涂層只能在特定的涂布窗口內(nèi)實(shí)現(xiàn),離開此穩(wěn)定涂布窗口將導(dǎo)致缺陷形成——最終,薄膜將無法涂布。通過了解涂層薄膜中缺陷的根源,可以知道需要改變哪些加工參數(shù)和狹縫幾何形狀以返回穩(wěn)定涂布區(qū)域。在本節(jié)中,我們將討論:改進(jìn)分布的分流板設(shè)計(jì)的理論基礎(chǔ)溶液如何通過受限制的通道流動(dòng)產(chǎn)生大的壓力梯度涂層彎月面的形狀和位置如何受到影響溶液分布(SolutionDistribution)溶...
7-4
??狹縫涂布:理論、設(shè)計(jì)與應(yīng)用狹縫涂布是一種極其通用的沉積技術(shù),其中溶液通過一個(gè)靠近基材表面的狹縫輸送到基材上。狹縫涂布方法的一個(gè)主要優(yōu)點(diǎn)是濕膜涂層厚度、溶液流速以及涂層基材相對(duì)于涂布頭的速度之間存在簡(jiǎn)單的關(guān)系。此外,狹縫涂布能夠在大面積上實(shí)現(xiàn)極其均勻的薄膜。例如,Ossila狹縫涂布機(jī)可以在許多米范圍內(nèi)產(chǎn)生厚度變化低于5%的涂層,并且在100毫米范圍內(nèi)厚度變化小于50微米(0.05%)。狹縫涂布是許多可用于將薄液膜沉積到基材表面的方法之一。與旋涂或浸涂等傳統(tǒng)技術(shù)相比,狹縫涂...
6-27
棒涂的介紹:方法、理論與應(yīng)用棒涂是一種簡(jiǎn)單的濕法加工技術(shù),用于在基材上沉積一薄層溶液。將一根棒或梅爾棒(MayerRod)放置在基材上,并拖過溶液池,導(dǎo)致溶液鋪展成薄膜或涂層。棒涂通常用于開發(fā)汽車涂料、光伏電池和鋰離子電池等應(yīng)用。棒涂可以手動(dòng)進(jìn)行,也可以自動(dòng)化以提高精度和效率。在自動(dòng)化棒涂系統(tǒng)(例如Ossila棒涂機(jī)中,使用自動(dòng)涂膜機(jī)以均勻速度將棒(如繞線梅爾棒)在基材上移動(dòng)。根據(jù)所用棒的類型,這種涂布方法也被稱為刮涂(drawdowncoating)、棒涂(rodcoati...
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