NXQ4006光刻機(jī)工作過程詳細(xì)介紹

　　NXQ4006光刻機(jī)工作過程詳細(xì)介紹
　　
　　1.打開NXQ4006光刻機(jī)電源開關(guān)，（右表板上標(biāo)有“電源”字的開關(guān)），燈亮，氣壓表顯示數(shù)值。
　　
　　此時(shí)檢查左表板上的“系統(tǒng)真空”表，看是否保持真空度≥-0.07MPa以上，否則要檢查漏氣原因并消除之。
　　
　　2.打開汞燈電源（左表板上標(biāo)有“汞燈”字樣的開關(guān)），指示燈亮。
　　
　　此時(shí)觀察電流表指針，直到指到4A左右，說明汞燈已點(diǎn)燃。
　　
　　zui少要15分鐘以后，汞燈亮度才能穩(wěn)定，操作者才能進(jìn)行以下工作。
　　
　　3.調(diào)節(jié)NXQ4006光刻機(jī)氣壓（左表板）
　　
　　觀察進(jìn)氣壓力，是否≥0.3Mpa，然后調(diào)節(jié)“給定壓力”=0.1kg/cm2。
　　
　　4.“真空吸版”
　　
　　將版放到版夾盤上，按“真空吸版”開關(guān)（面板上標(biāo)有“吸版”字樣的開關(guān)），指示燈亮。版被吸牢。如果“系統(tǒng)真空表”因這一動(dòng)作而掉表，應(yīng)查明原因，是否版不平，或者版和版夾盤上有雜物。
　　
　　5.“真空吸片”
　　
　　檢查承片臺(tái)表面是否清潔，放上片，按“真空吸片”開關(guān)，（面板上標(biāo)有“吸片”字的開關(guān)）燈亮，片被吸牢。
　　
　　如果片的底面不平，片不規(guī)則（如碎片）等，片的吸牢程度降低，而且“系統(tǒng)真空表”有掉表現(xiàn)象，如果嚴(yán)重，將影響吸片牢度。
　　
　　6.NXQ4006光刻機(jī)承片臺(tái)上升并使片頂版。
　　
　　承片臺(tái)上升時(shí)，按“氣浮”鍵（面板上標(biāo)有“氣浮”字的開關(guān)）燈亮，不放手直到頂升壓力回復(fù)到設(shè)計(jì)壓力。此時(shí)，操作者觀察氣浮壓力數(shù)顯表，是否到預(yù)設(shè)壓力。如果到預(yù)設(shè)壓力，說明版、片已找平。停止頂版，并放手“氣浮”鍵，半球由“氣浮”狀態(tài)變成“真空吸球”狀態(tài)。