NXQ4006光刻機在使用操作過程中的注意事項

　　NXQ4006光刻機的工作原理是通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經(jīng)物鏡補償各種光學(xué)誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上。然后使用化學(xué)方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。

　　NXQ4006光刻機在操作中應(yīng)該要注意以下幾點：

　　1、進入機倉檢查或維修必須切斷電源，掛上警示牌并與中控。

　　2、檢修或檢查時必須使用36V以下照明。

　　3、必須經(jīng)常監(jiān)視機器運轉(zhuǎn)情況，如聽任何不正常聲音，應(yīng)立即停機檢查，查明原因并處理完故障后，方可重新起動。

　　4、正常運轉(zhuǎn)中，應(yīng)特別注意電機和轉(zhuǎn)子的溫度變化，保證充足的油潤滑、水冷卻，超過規(guī)定值立即停機檢查。

　　5、運行時，不準(zhǔn)打開觀察孔，以防物料飛出傷人。

　　6、每周應(yīng)檢查一次轉(zhuǎn)子卡箍螺栓的松緊情況。

　　7、每天開機前應(yīng)檢查襯板螺絲是否松動并緊固。

　　NXQ4006光刻機在使用的時候要注意：

　　1、請在開啟之前對每個部位的螺絲進行檢查防止其在運行過程中螺絲松動造成部件損壞。

　　2、請在開機前對運動部位進行加油,目的使其在運動中得到很好的潤滑,從而延長了使用壽命。

　　3、請在開啟之前先手動送簽。